スポット溶接技術
ポイント型フィラメント
タングステンなどの高融点金属の細線でフィラメントを加工し、セラミックベースのピンにスポット溶接します。大和テクノシステムズのスポット溶接は、フィラメントの線径φ0.05の極細線からφ0.5程度の極太線まで、精密な溶接が可能です。また、大和テクノシステムズのスポット溶接機は、独自に開発したフィラメント溶接に特化した装置で行っております。スポット溶接後には、アニール処理(真空熱処理)をすることで、装置取付け後には安定した電子ビームを放出します。製品検査は、各種測定器を使用し、万全な出荷体制を整えております。
フィラメント・エミッター製作における応用技術
単結晶Ｗの先端微細加工は、エッチングにて行う事でnmオーダーの加工を行います。
非常に繊細なチップであるため、特に精密な作業を要求されています。また、極細線コイルの加工からスポット溶接による組み立ても同様に、精密加工を行っております。
スペック情報
| セラミック材質 | セラミック、ステアタイト、その他 |
|---|---|
| 接合方法 | ロウ付け、ガラスシール |
| ピン材質 | Ta、Kov、各種金属ok |
| フィラメント材質 | W、Ta、Re、Th-W、その他 |
| 形状 | ヘアピン型、ポイントフィラメント型、シャープ型、コイル型、各種 |