半世紀近くにわたり世界中の電顕メーカーに安定した品質と数量で供給し続けています。
電子顕微鏡用アパーチャーを一言で言うとミクロンサイズの微細穴を施している金属の薄板です。電子ビーム径を調節することで、電子顕微鏡の分解能を高めたり、コントラストを低下させる余分な電子を取り除くことができます。小さな部品でありながら電子顕微鏡の性能に大きく関与しております。
電子顕微鏡（SEM,TEM,FIB）、半導体検査装置用高品質アパーチャーの製造
得意とする超微細穴加工技術によって、アパーチャープレートやオリフィスの製作が可能です。
また、独自開発した仕上げ処理と特殊洗浄技術を駆使し、ナノレベルのバリや汚染物を除去することが可能です。主にSEM 用、TEM 用の電子ビームやX 線の絞り穴として高い信頼を得ています。
アパーチャー
TEM用アパーチャープレート
TEM用アパーチャープレート
Mo φ0.006
Mo φ0.005
SUS φ0.01
アパーチャー梱包写真
大和テクノシステムズの手掛けるアパーチャー
大和テクノシステムズ熱電子銃の特長（単体 / プリセンタード / ウェルネト一体）
- バリ、突起、カエリがありません。
選定した高品質な素材を用いて加工を施し、特殊バリ取り技術により穴のバリを取り除きます。
- ゴミがありません。
大和で独自開発した特殊洗浄技術を駆使し、ナノレベルの汚染物を徹底除去致します。
- 真空べーキング処理が可能です。
真空べーキング処理を行い、材料の表面や内部に残留、溶存している気体分子がガス化され、材料から離脱させます。
- オスミウムコーティングができます。
オスミウムコーティングをすることで、アパーチャー表面に滑らかで均一な被膜を形成し、チャージアップを防止することができます。
- 脱酸素剤や乾燥材と一緒に真空パックして納品致します。
アパーチャーは薄い金属箔であるため、梱包状態が悪いと破損したり、酸化膜が形成されたりと品質に悪影響を及ぼします。当社は長年の経験から独自の梱包形態を開発致しました。
- お客様のご要望に応じて最適な仕様と加工方法を提案します。
数多くの加工技術を取り揃えて、豊富な加工データの蓄積を具備しております。お客様の使用用途やご予算に合わせて加工方法や加工精度のご提案を致します。
- デイスク型の固定絞りから複数穴の可動型絞りまで対応しております。
大和テクノシステムズのアパーチャーはデイスク型の固定絞りから複数穴の可動型絞りまで対応しております。板厚は0.01tの薄型から数㎜の厚板まで幅広く対応しており、最小穴径φ0.001です。
- 穴径寸法公差は一般的に穴径の±10％です。最小±1μmまで対応可能です。
穴径の寸法公差は穴径のサイズによりますが、一般的には穴径の±10％が標準になります。その他詳細についてはご相談ください。
アパーチャーの製造対応範囲
| 材質 | モリブデン、タンタル、タングステン、白金、チタン、ステンレス等 |
| 外形［mm］ | Φ2〜 |
| 穴直径［mm］ | Φ0.001〜 |
| 厚み［mm］ | t0.01〜 |
| 材質 | モリブデン、タンタル、タングステン、白金、チタン、ステンレス等 |
| 長さ［mm］ | 10〜 |
| 幅［mm］ | 4〜 |
| 穴径［mm］ | Φ0.001〜Φ2 |
| 穴形状 | ストレート穴、ザグリ穴 |
| 穴の数 | 1〜20 |
| 板厚［mm］ | t0.01〜 |
アパーチャー製造に関するよくあるご質問
装置メーカーからでなく直接販売できないか？
開くメーカー品をそのまま第三ユーザー様にご提供することはできません。受託加工なので、図面を頂くか、あるいはご要望をお伺いして設計から製造まで承ります。
スリット加工が可能か？
開くサイズによりますが、対応可能です。
どんな材質の加工が可能ですか？
開く金属がメインとなります。Mo、Ta、W、Pt、Au、Ti、Ni、SUS、Al、Cu およびそれらの合金の加工ならお任せください。